时间：2025年5月18日上午8:00
地点：北京经济技术开发区荣华中路19号A座9楼中科院微电子所产教融合中心会议室
答辩委员会：
| 姓名 | 工作单位 职称 | 硕士生导师/产业教授 |
主席 | 张心强 | 中国科学院微电子研究所 研究员 | 硕士生导师 |
委员 | 王喆 | 北京屹唐半导体科技有限公司 高级工程师 | 产业教授 |
闫裔超 | 电子科技大学 高级工程师 | 硕士生导师 |
黄成强 | 遵义师范学院 教授 | 硕士生导师 |
卢倩 | 盐城工学院 教授 | 硕士生导师 |
答辩秘书：纪政成
答辩学生：
序号 | 姓名 | 导师姓名 | 论文题目 |
1 | 刘连玺 | 周临震 陈波 | 单片晶圆清洗机尾气处理设备控制系统的设计与研究 |
2 | 周宏鑫 | 周临震 陈波 | 用于原子层沉积与原子层刻蚀集成的工艺腔室研究 |
3 | 吴振 | 周临震 陈波 | 集成电路湿法设备液体流路系统的设计与研究 |
4 | 杨力 | 周临震 陈波 | 低温气溶胶清洗设备热交换器的结构设计与优化 |
5 | 冯映龙 | 周临震 陈波 | 集成电路用零部件清洗设备传输系统关键技术研究 |
6 | 王玉玲 | 刘聪 陈波 | 低温气溶胶清洗喷嘴的关键技术研究 |
